气体流场作用下直线驱动二维气浮工作台的振动特性研究

被引量 : 5次 | 上传用户：imafool2009

【摘要】

：

直线驱动气浮工作台具备摩擦低、传动环节少的特点,其精度比传统的机械式工作台高两个数量级,因此成为精密运动平台的首选。气膜流场内的漩涡和压力不均匀会引起工作台的微振动现象,虽然目前气浮工作台已经应用于精度高达38nm的光刻机扫描定位工作台,但是随着技术的发展,对气浮工作台的精度要求不断提高,微振动现象已经成为气浮工作台向更高精度发展的掣肘。本文从CFD计算法分析工作台气体流场、谐响应法分析气体流场作

【作者】

：

李巍

【机构】

：

广东工业大学

【发表日期】

：

2015年01期

【关键词】

：

气浮工作台微振动漩涡振动响应 HHT变换

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