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提高光电转换效率，同时降低生产成本，一直是太阳电池光伏技术发展的宗旨。而开展多结太阳电池技术研究，是提高电池光电转换效率的有效途径之一。在各类型太阳电池中，GaAs基多结太阳电池，以光吸收系数大、抗辐照能力强和耐高温等优良性能，始终保持光电转换效率的领军地位。GaAs基多结太阳电池的吸收光谱得以拓展，其吸收限红移至1800nm左右，基本可实现太阳光谱的全吸收。因此，需要在更宽的光谱范围内实现较理想的减反射效果。而传统的双层减反射膜不能在大入射角度范围内实现宽波段太阳光的吸收。所以为减小多结太阳电池的反射损失，提高其光吸收率，寻求更理想的减反射结构是非常有必要的。本文基于TFC薄膜设计软件，对350~1800nm宽波段多层减反射膜系进行了优化设计，并在理论设计的基础之上展开了实验研究。首先，对各单层膜的制备工艺进行了大量研究，并使用椭圆偏振仪、X射线衍射仪、原子力显微镜等仪器检测和表征薄膜的性能，分析了其随各工艺参数变化的基本规律。TiO2和SiO2单层膜的折射率均随氧分压的降低、电子束流和基片温度的升高而增加，其中，高折射率TiO2薄膜的性能受工艺参数的影响更大。在衬底温度为300℃时，所制备的ZnS薄膜表面均匀致密，呈现较优的结构和光学性能。之后，在砷化镓衬底上制备了TiO2/SiO2双层减反射膜，ZnS/Al2O3/MgF2和ZnS/MgF2/ZnS/MgF2多层减反射膜，使用分光光度计测试了其反射谱。通过分析比较，得出：TiO2/SiO2、ZnS/Al2O3/MgF2和ZnS/MgF2/ZnS/MgF2在350~1800nm宽波段内的平均反射率分别为13%、10.82%和8.55%；其中，TiO2/SiO2双层减反射膜在400~1000nm波段有很好的减反射效果，但1000~1800nm波段的减反射效果较差；ZnS/Al2O3/MgF2三层减反膜在800~1800nm波段的减反射效果较为理想，但其在可见光波段的减反射效果不太理想；ZnS/MgF2/ZnS/MgF2在整个波段的减反射效果最为理想，在500nm和1200nm波长附近取得反射率极小值。