一种新型投射电子束曝光系统的照明电子束系统的设计和磁浸没透镜的实验研究

来源 :西安交通大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:donghao3000
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
在该论文中,介绍了磁浸没透镜的宽束曲光轴理论,磁浸没透镜的设计和数值模拟,磁浸没透镜的磁路结构和励磁线圈的设计,并设计了一套磁浸没透镜实验系统,对此实验系统的特点和设计方案进行了分析.由于层流电子枪照明电子束系统是本实验系统的一个及其重要的部分,它的性能的好坏,直接影响了本实验系统的性能,所以在论文工作中还重点进行了层枪的设计.最后介绍了一个实际的磁浸没透镜结构.
其他文献
该论文用步进应力加速寿命试验的方法对国产砷化镓微波单片集成电路(GaAs MMIC)的可靠性进行了初步的研究,得到恒定应力加速寿命试验的最佳试验温度,并根据步进应力试验过程中
该文的目的是研究采用开关电源技术设计离子源系统中的加速电源,阐明了高压大功率开关电源研制的一般计程.针对离子源系统中加速电源的低纹波、高稳定度和高压特点,从设计方
该论文在分析IDEA算法的基本运算模块的基础上,根据IDEA迭代运算的特点,将每一轮中没有数据依赖性的一些群运算组分配在同一时间进行,实现电路的空间并行性.采用8级数据流水
大气无机氮沉降因人类活动的加剧增加了多倍,虽然增加的N给森林生态系统带来了一定的肥力效应,但从长远来看,过量的氮沉降会对生物化学循环、土壤理化性质和森林生产力产生负作
地下水是我国主要的饮用水源,与人类健康密切相关。但近年来,由于各种人为因素和自然因素等影响,地下水污染日益严重,因此准确地估计地下水中污染物质的变化特征对于满足人类生存
该论文将针对已初步搭建好的特定人群指纹验证系统,完成其FPGA验证工作.目标是实现整个系统功能的硬件验证,为今后工作提供初步的实验平台.这一部分的工作主要包括验证方案确
随着移动通信用户数目的快速增长和数据通信质量要求的不断提高,智能天线技术日益凸显出其在新一代无线通信系统中的重要地位.该论文的重点是探讨适用于当前实际无线通信系统
中枢5-HT是调节许多生理活动和行为的重要调质,它的不足导致多种精神类疾病如焦虑、抑郁和创伤后应激综合症(以异常的恐惧记忆为特征),但是真正的机理并不清楚。同时近来的研究
土茯苓为百合科植物光叶菝葜(Smilax glabra Roxb)的干燥根茎。其性味甘、淡、平,是一种常用中药,为历代本草及中国药典收藏,具有除湿、解毒、通利关节等功效,用于治疗湿热淋浊、
透明导电薄膜主要应用在如平板显示、电子书、智能手机、触摸屏、发光二极管和太阳能电池等光电器件领域。目前,比较广泛用来制备透明导电薄膜的材料是锡掺杂的氧化铟(ITO)。