晶圆作为加工半导体芯片的主要材料,其质量的好坏对信息产业的影响可谓巨大。因此,对晶圆表面微观形貌做精密的检测显得尤为重要。本文对晶圆表面微观形貌检测系统的实现原理上作了研究工作,对系统采用的表面微观形貌复原算法作了简要概括。在结合以上两部分理论基础上,利用Visual C++6.0程序设计平台,设计了系统操作界面,包括系统用户登录界面、系统操作员管理界面、系统主控界面以及图像存储保存界面,将系统用于晶圆表面微观形貌检测过程中所涉及的各个环节进行了自动控制,实现了用户友好型的系统操作控制平台,为系统便捷操作,有效管理作了人性化处理。为了将系统采用的光学硬件组成部分及软件控制平台较好地结合,便于使用和操作,在考虑各方面条件及要求的前提下,设计并制作了系统装置,做到了装置布局合理,结构规范,易于操作和安放。该装置目前可以对待检验样品进行实时检测及分析处理。系统通过五步相移算法可以对样品进行检测工作。利用已完成的该系统的检测装置采集了数组数据并进行了样品的相位提取工作,复原了样品的微观形貌。试验检测结果表明我们所采用的装置设计合理,算法有效,操作简单,达到了预期的设计目的和要求。研究和实验结果表明:晶圆表面微观形貌检测系统理论正确,界面操作简单有效,可以在普通实验条件下工作,检测精度可以达到纳米量级。最后,对于系统尚存在的问题及后续完善工作等事宜作了较为完备的总结并制作成档,为今后的改进工作做了准备。