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国产干式真空泵在未来有很好的发展前景,市场很广阔。但国产干泵的可靠性与进口泵还是有很大差距,故障率较高,所以提高国产干泵的可靠性非常重要。本文从干式真空泵健康状态,故障识别着手,做了以下工作,并取得了不错的效果。针对国产干式真空泵的刮蹭问题,设计了振动选频模块,该模块可以成功提取国产干式真空泵组下泵轴端发生刮蹭时的特征频率,通过在泵组上安装该模块,可以做到实时检测干式真空泵组的刮蹭状态。使用力控组态软件搭建了中央监控系统,可以对现场干式真空泵组实时进行数据采集、显示及存储,并且可通过工位查询及导出泵