屈曲型微驱动器的设计与分析

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【摘要】

：

微驱动器作为MEMS的一个重要分支,近年倍受关注。微驱动器有广阔的应用前景,可用于RF开关、相控天线等方面。但是目前驱动器存在驱动电压大、难以实现大位移等问题。针对目前微驱动器的不足,基于MEMS技术和压杆稳定原理,本课题设计了一种低驱动电压、小位移变形的屈曲型微驱动器。根据欧拉载荷公式,计算得到临界载荷为39.4784N;当加载轴向力为39.479N时,产生的最大挠度为4.775mm;基于胡克定

【作者】

：

李雪梅

【机构】

：

西安电子科技大学

【发表日期】

：

2011年01期

【关键词】

：

MEMS 微驱动器纵横弯曲压杆稳定

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