【摘 要】
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多孔硅拥有独特的物理微结构和显著的量子限制效应,其结构和光学特点引起了众多科研者的广泛兴趣和大量研究。多孔硅光致发光的发现意味着全硅基光电集成的可能,具有极其重要
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多孔硅拥有独特的物理微结构和显著的量子限制效应,其结构和光学特点引起了众多科研者的广泛兴趣和大量研究。多孔硅光致发光的发现意味着全硅基光电集成的可能,具有极其重要工业应用潜力。本文分两个部分,前四章主要综述了多孔硅的制备方法、成核机制、后处理技术、以及发光原理和器件应用。第五章和第六章,属于研究性质的阐述,分为两个方面:第一,石墨电极下多孔硅的光致发光特性,重点研究了电流密度和腐蚀时间对不同掺杂硅片腐蚀样品PL谱的影响。第二,主要推导了多孔硅的光栅效应的结果,引用了他人的数值分析结果说明问题。
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