超纯水TOC（Total Organic Carbon,TOC）含量检测装置通过对有机碳的氧化产物二氧化碳进行含量测定,从而确定总有机碳的含量。紫外氧化法相较于湿法、燃烧法等氧化方法,因其具有能耗低、完全无污染、反应可控性高、反应彻底迅速等良好特性而被诸多厂家采用。而国内外现有的基于紫外氧化法的超纯水TOC检测设备仍存在诸多问题:设备结构复杂,易造成误差累积,以致影响检测的精度和效率;功能较为单一、智能化程度较低,无法满足用户的多种检测需求。本文针对现有问题进行研究,主要包括以下几个方面:（1）通过对有机碳氧化技术和二氧化碳含量检测技术的深入研究,确定了紫外氧化法与电导率检测法相结合的TOC检测方式,并采用了185nm的紫外线作为氧化光源,以提高氧化反应的效率。配合电控系统的开发,通过控制电导池激励方波的占空比和频率,降低了电极极化效应和电容效应对测量精度的影响。（2）设计了一款超小体积的一体式氧化电导池。利用烧结密封的手段,将合成石英玻璃材质的池体与钛金属电极紧密结合成一个整体。通过一系列对比实验,验证了本文所设计的一体式氧化电导池能够有效提升氧化反应的效率以及检测精度,且集成化的池体便于设备组装以及后期维护。（3）通过对实验测试数据的分析,使用曲线拟合的方式对电导率与氧化时间的关系进行建模。运用该拟合模型对数据进行滤波处理,对数据中的坏点进行修正,以提高设备的检测精度。通过测试实验,验证了该拟合模型能够有效提高设备的检测精度。（4）通过市场调研以及用户需求分析,研发了在线和离线两种检测模式,其中在线模式适用于对超纯水设备产水进行TOC检测,离线模式适用于对容器内存放的超纯水进行TOC检测,且离线模式可以自定义检测次数,能够满足多样化的检测需求。综上,本文所设计的基于紫外氧化技术与电导率检测技术的超纯水TOC含量检测设备,具有高精度、高效率的优点,且能够满足更全面的检测需求,具有较高的实际应用价值。