【摘 要】
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角位移传感器用于测量固定部件（定子）与转动部件（转子）之间的旋转角度,可根据电场、磁场及光学等原理进行测量.其中,电容式角位移传感器以其非接触测量、结构简单、低能耗、测量
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角位移传感器用于测量固定部件（定子）与转动部件（转子）之间的旋转角度,可根据电场、磁场及光学等原理进行测量.其中,电容式角位移传感器以其非接触测量、结构简单、低能耗、测量精确等优点独树一帜.该课题设计了一种电容式角位移传感器.作者运用有限元法对不同形状和参数的电容传感器进行了仿真实验,并得到了选择优化结构参数的原则,其中首次对三极板结构电容传感器电场进行了三维有限元仿真分析.该文同时给出了一种基于充放电原理的小电容测量电路,它从原理上克服了杂散电容的影响,同时简化了电路的结构,使其满足实际应用要求.将传感器和测量电路连续进行实验,得到实验数据,进行分析,说明仿真实验对实际有一定的指导意义.
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