随着全球太阳能电池产量快速增加,直接拉动了多晶硅需求的迅猛增长。多晶硅的生产仍是光伏产业链的能力制约因素。目前,太阳能级多晶硅制备的主流技术有改良西门子技术和硅烷法。由于国外技术封锁,我国现在引进的西门子技术三废问题多,能耗大。因此,依托高校以及研究院所,加强新一代低成本工艺技术基础性及前瞻性研究,建立低成本高纯度(太阳能级)多晶硅研究开发的知识及技术创新体系,对多晶硅生产工艺进行进一步开发和完善,获得具有自主知识产权的生产工艺和技术,就具有迫切的现实意义。本研究采用自行设计的流化床反应器,通过还原反应对高纯硅进行反应处理,在其表面沉积出高纯度多晶硅,其中对环境污染小,对外依赖性小。实验中自行设计了一整套以流化床为核心的实验装置,并在此基础上探索了多晶硅的流化床法制备工艺,成功地制备了太阳能级多晶硅,其沉积率达到26.18%,纯度达到99.9992255%-99.9999026%。利用JSM-5610LV/INCA型扫描电子显微镜、MS2000型激光粒度分析仪及ICP光谱仪对样品进行了形貌、粒度变化及纯度分析。