【摘 要】
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该文提出了一种利用原子力显微镜(Atomic Force Microscope)技术和数字图像相关技术(Digital Image Correlation)相结合测量微机械结构形变场的方法.其原理是通过原子力显微
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该文提出了一种利用原子力显微镜(Atomic Force Microscope)技术和数字图像相关技术(Digital Image Correlation)相结合测量微机械结构形变场的方法.其原理是通过原子力显微镜扫描记录微机械器件结构在变形前、后的表面形貌信息,然后以此表面高度信息用做灰度信息作为数字图像相关技术的载体,进行相关运算,得到结构的计算区域的全场的变形特性,其测点的精度可达纳米量级.
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