随着半导体芯片制造设备的尺寸大直径化、设备的高精度化、自动化,设备价格日益昂贵化,设备折旧与维修占芯片加工总成本的最大比重,因此设备效率和设备能力能否达到其最大利用率是决定芯片制造成本的重要因素之一。目前许多半导体制造企业中的计算机集成制造CIM(Computer Integrated Manufacturing)系统中无法提供设备产能计算的相关数据,从而无法及时发现问题、解决问题并且做出相应的决策。本文利用CIM系统中与半导体制造设备联系最紧密的设备自动化程序EAP(Equipment Automation Program),应用SECS(SEMI Equipment Communication Standard)通信协议以事件驱动的方式自动收集设备产能计算所需的设备生产运行数据,作为CIM系统中的EAP与设备产能管理系统的最底层的接口,并以事先定义好的格式写入日志文件中。利用PERL语言在数据库连接与操作、文本读取与解析、动态调用外部模块以及支持多平台的强大功能,通过读取数据库里定义的配置定期自动抓取分布在公司局域网中各个电脑上的EAP的日志文件,并运用此语言便捷的文本解析处理技术对日志文件作分析处理以获取所需数据并把相关数据存入数据库。重点分析和研究了某一类型的设备的工作运行模式,并在此基础上抽象出此类型设备产能计算的数学模型。运用数据库服务器端编程PL/SQL语言中的存储过程对此数学模型进行系统上的实现,计算出以设备每小时的晶圆产出量WPH(Wafers Per Hour)衡量的设备产能数值。本文首先对半导体制造业的CIM系统以及设备产能管理方面的技术做了综述;其次总结分析了设备产能管理系统的需求和挑战,并在此基础上归纳出设备产能管理系统所应具备的功能体系框架;然后提出系统实现所需的技术和通讯协议;最后描述了设备产能管理系统的架构及其实现方法。