近场光学显微镜(NSOM)是利用样品近场光信号成像的一种光学显微镜,它的应用使人们突破光学显微镜的衍射极限,以光学的方法,观察得到样品微米以及纳米尺度的形貌和光学图像,为科学研究提供新的方法和手段,在纳米科技发展中将具有重要的应用价值。 本文主要围绕近场光学显微镜关键部件—光纤探针的研制改进展开。根据近场光学显微镜对扫描光纤探针的要求制作了不同类型的光纤探针,并根据AF/PSTM(原子力/光子扫描隧道显微镜)近场光学显微镜的要求,研制改进弯曲光纤探针的制作方法—热拉伸与化学腐蚀相结合制作弯曲光纤探针的方法。在实验中总结了一套拉制和腐蚀的完整流程:通过对实验仪器参数的优化设置,热拉伸过程中的操作流程的规范,腐蚀时间的研究以及温度的影响,总结了一个完整的工艺流程。按照这个流程可以很快制作符合需求的光纤探针。 利用该方法研制的成品弯曲光纤探针应用于光子扫描隧道显微镜系统,得到了比较理想的样品图像。 另外初步研究了腐蚀温度和腐蚀时间对探针的影响。在不同温度条件腐蚀实验,并得到了初步的实验结果。