近年来,随着各种器械的小型化,微细铣削技术迅速发展。而微铣刀作为微细铣削加工的工具,其重要性与日俱增。针对CVD金刚石微铣刀加工难度高,制备效率低下的问题,本文提出了CVD金刚石微铣刀的激光诱导石墨化辅助精密磨削方法,其在提高了加工效率的同时,改善了刃口质量。本文主要研究内容如下:(1)根据传热控制方程和热传导理论,建立Ansys APDL三维瞬态热力学仿真模型,讨论不同参数对激光诱导石墨化的影响,并测量金刚石石墨化深度,最后通过试验对比验证。通过改变激光能量密度、扫描速度和填充间距进行纳秒激光石墨化试验,使用扫描电镜和拉曼光谱仪对生成的石墨和分界层进行分析,判断金刚石石墨的形貌和晶体结构。(2)提出了一种激光诱导石墨化辅助精密磨削技术,并采用正交试验法和灰色关联分析对磨削参数进行优化。与传统精密磨削进行对比发现,该激光诱导石墨化辅助精密磨削技术在大幅提高磨削效率的同时,加工过程也更加稳定,其能有效减少刃口的破碎,从而得到更加锋利的切削刃。(3)进行了CVD金刚石圆弧刃微铣刀的设计,通过Ansys Workbench进行强度分析和模态分析以验证结构合理性。利用AutoCAD进行激光光路设计,采用变激光功率密度的激光诱导石墨化精密磨削技术进行CVD金刚石圆弧刃微铣刀的制备。