CIGS薄膜太阳能电池具有独特的优异性,现在其已然成为各国科研工作者的研究对象。由于CIGS薄膜太阳能电池透明导电层以及窗口层对电池性能有较大影响作用,最近几年科研工作者也是对其做了大量的研究。本文利用磁控溅射的方法制备了ZnO窗口层、ZnO掺Al (AZO)透明导电层和ZnO及AZO叠层,研究了溅射功率、溅射气压等工艺参数对薄膜光电学特性的影响规律,旨在制备出符合CIGS薄膜太阳能电池要求的透明导电层以及窗口层。分别采用XRD、SEM、EDAX、紫外-可见-近红外分光光度计,四探针测试仪,等分析了薄膜的物相结构、表面形貌、截面形貌、化学元素成分、厚度、光的透过率、电阻率等性能。结果表明：氧化锌及氧化锌掺铝薄膜都沿(002)晶面择优生长,其光的透过率在400 nnl至1400 nm 之间达到了85%以上,氧化锌薄膜由于掺杂铝其电阻率显著下降达到了10-量级。ZnO及AZO的表面及截面形貌都生长良好,并从其截面看出氧化锌的薄膜厚度在200 nm左右,氧化锌掺铝薄膜的厚度在600 nm左右。研究叠层薄膜发现：ZnO工作气压1.6 Pa,溅射功率80 W,溅射时间5分钟,AZO薄膜工作气压1.8 Pa,溅射功率105 W,溅射时间20 min,叠层薄膜的光学及电学性能以及厚度最接近电池对其的要求。