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超低频振动问题在工程实践中广泛存在,并且日益受到越来越多的关注,所以对于超低频振动校准系统,人们也给予了更多的重视,本文首先分析了超低频振动校准系统的国内外研究现状,并以其为研究核心,通过理论分析、程序仿真和实验研究,建立了一套可以有效减小振动台失真的系统,并获得了良好的实际效果,同时提出新的控制方法并加以验证。本文的主要研究工作有以下几个方面:首先,通过对振源的分析,在隔振理论的基础上,提出了基于反馈技术的主动隔振方法,根据不同的反馈参量,介绍了几种不同的反馈方法,并通过MATLAB编程进行仿真,分别予以分析,以找出最优方案。同时,分析了超低频标准振动台的隔振方法,指出被动隔振和主动隔振相结合的方法,可以更有效地解决超低频振动台的基础隔振问题。其次,通过介绍超低频振动台的工作原理,构建了超低频振动台的力学模型,并对其动态特性进行分析。指出了超低频振动台的几个关键的技术问题,如振动台的非线性失真、自身的稳定性、地基干扰及背景噪声等问题,并对上述各种问题进行了大致的分析。通过对比相对速度和绝对速度反馈,介绍了相对速度和绝对速度相结合的复合反馈的技术,分析了系统在复合反馈下的动态特性,表明此技术对于超低频振动台减小失真有着明显的作用,从而证实,在超低频振动校准系统中,采用负反馈技术是必要且有效的,它可以改善系统的动态特性,降低系统的失真度,可对超低频振动传感器进行有效的校准。再次,基于负反馈技术,以当代先进的PID控制和模糊控制理论为基础,设计了一套基于模糊自整定PID控制算法的数字伺服控制系统,克服了传统的模拟伺服控制器系统通常有着调试困难、容易受到环境温度变化的影响而产生漂移、缺乏实现复杂计算的能力、无法实现现代控制理论指导下的控制算法等缺点。在MATLAB环境下编程并进行仿真,确定了K_D、K_P、K_I三个主要参数的初值,归纳了这三个主要参数的选取规则,指出了误差变化对这三个参数在调整过程中取值变化的影响,以及各参数之间的关系。通过阶跃信号响应仿真表明,该控制器与传统的PID控制器相比,有着更为良好的动态特性。从仿真中还可以看出,系统对于正弦激励信号的跟踪也有着良好的效果。在振动台上通过DSP系统进行硬件实现,实验表明,这种控制器所构成的系统可以有效地减小振动台的失真,具有一定的可行性和有效性。然后,分析了系统A类不确定度的产生原因以及计算公式;分别从振动位移误差、输出电压测量误差、台面横向运动误差、频率测量误差等几方面,总结并分析系统的B类不确定度和系统的合成不确定度;同时探讨了在测量数据处理的过程中,对于异常值的判断及其剔除准则;指出了采取多次测量取平均值的处理方法,可以有效地减小系统的随机误差。最后,对全文的主要研究工作进行了总结,并展望了今后的需要进一步深入开展的工作。