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爪式真空泵结构优化设计及流场特性研究

来源 :中北大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fmylqy

【摘 要】

：

干式真空泵的设计与研发起源于半导体微电子行业,成熟于医疗、机械、煤炭设备、工业除尘除锈等行业。近年来我国在真空泵行业虽然取得了进步,但仍处于向国外学习阶段。未来真空泵行业的发展趋势必然是倾向于无油清洁型,且具有广阔的市场与需求。但我国生产的无油清洁型真空泵质量一般,可靠性低,一定程度上限制了国内真空泵行业的发展。本着提高干式真空泵的可靠性的目标,本文进行了爪型干式真空泵结构优化设计及流场动态特性的

【作 者】

：

武涛 

【出 处】

：

中北大学

【发表日期】

：

2019年09期

【关键词】

：

爪式真空泵 螺旋型转子 结构优化 流场分析 CFD 

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