MEMS陀螺电磁驱动稳幅控制关键技术研究

来源 :中北大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：laohe200304

【摘要】

：

MEMS陀螺是伴随着微电子机械系统的快速发展而兴起的一类新型惯性传感器,由于具有体积小、功耗低、抗冲击能力强等优点而被广泛关注,并且在国内外得到快速的发展。受现有加工工艺条件,测控电路等因素的限制,MEMS陀螺精度普遍较低。从整体发展趋势来看,MEMS陀螺的主要研究方向分为:结构设计、工艺设计,测控电路设计。本文针对MEMS陀螺测控电路中的稳幅控制电路展开研究。首先,介绍了MEMS陀螺的基本工作原

【作者】

：

王威

【出处】

：

中北大学

【发表日期】

：

2019年09期

【关键词】

：

MEMS陀螺锁相环(PLL)控制自动增益(AGC)控制稳幅控制电磁驱动

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