微光像增强器作为一种在低照度下对目标的探测和识别的电真空器件,其噪声特性直接制约者它的观察效果和视距,是影响其成像效果的重要因素。作为微光像增强器核心部件之一的微通道板(Micro channel Plate,简称MCP),在放大输入信号的同时,也放大并产生噪声,理论普遍认为它是整个像增强器的主要噪声源。降低MCP的噪声因子,可以有效的提高微光像增强器的信噪比,进而提高低照度下像增强器对景物的目标探测、识别能力,非常必要。本文在现有高性能MCP研究成果的基础上,通过MCP二次电子发射理论、MCP材料的组成和MCP通道内壁的微观形貌,对MCP固定图案噪声、电子散射噪声、离子反馈噪声和散射噪声等噪声产生的机理进行了较深入的理论分析。并根据真空热脱附和电子诱导脱附理论,对MCP真空除气的机理及MCP内气体对其噪声的影响进行了分析研究。利用扩散模型对MCP真空热处理进行理论模拟。通过研究指出了MCP内的残余气体是影响MCP噪声因子的主要因素,且通过真空热处理和电子清刷可以有效的去除MCP表面及体内的残余气体,降低其噪声。使用超高真空测量装置和MCP综合测试台分别进行了真空热处理过程中MCP残余气体的测量分析和真空电子清刷除气实验,并利用MCP噪声因子测试仪,对实验各阶段MCP的噪声因子进行了测试,全面分析研究了不同工艺真空除气对MCP噪声因子的影响。根据大量的实验结果,并综合考虑工艺周期等因素,最终确定了MCP真空热处理及预电子清刷的工艺参数,提出了合适的真空除气工艺,使得MCP内残余气体减少,MCP噪声因子较除气前降低了21%。