目前，集成电路测试已经成为了集成电路产业重要支撑技术，其中集成电路晶圆测试更是测试环节中的重要部分，是保证集成电路能够正常工作的重要手段。本文设计的集成电路测试系统就属于该阶段的关键设备。论文首先介绍了集成电路测试系统的发展历史，然后分析了自动测试设备(ATE)的组成和分类，提出本项目所设计的集成电路测试系统的架构。本文所设计的集成电路测试系统包括测试机硬件部分和测试机中转以及网络部分，测试机硬件部分主要是基于FPGA的信号采集、处理、发生模块，包括时间测量单元(TMU)、任意波形发生器(AWG)、波形数字化仪(DIG)、精密测量单元(PMU)、差分电压表(DVM)以及信号均方根值(RMS)模块，功能模块通过PCI总线设计与上位机通信，接收和发送上位机数据，内部使用自定义总线完成数据传输。测试机软件部分主要是基于Windows系统的.NET Framework平台的上位机软件以及网络程序，包括测试机中转程序和服务器程序，能够转换不同测试机和探针台接口之间的通信(接口包括TTL，GPIB，RS232)，并且处理通信数据生成测试文件以及增加原测试机所不具有的实时Map显示、选择芯片复测、多芯片行测试等功能，然后上传测试文件至服务器，通过服务器程序生成统一的统计文件和报表。论文最后通过模拟软件测试以及实际生产测试，验证了测试机中转程序设计符合上述的设计要求，能够运用于厂家生产测试。