散斑干涉技术测量是具有非接触，高精度和全场等优点，一直为人们所重视，尤其是被大量地应用于表面测量。并且随着电子技术、计算机技术、激光技术的发展促进了散斑计量技术的发展，使散斑计量技术向实时、高速度及自动化方向发展。 本文阐述了散斑测量技术发展概况，分析了散斑成因，介绍了激光散斑测量基本理论，并对激光散斑测量方法包括参考束型散斑干涉测量方法、电子散斑干涉相减技术及激光散斑数字相关技术进行了分析研究。 作者使用了天津拓普仪器有限公司提供的WSG－1电子散斑干涉实验装置，对试件离面位移进行了实验测量。试件为一圆盘，周边被固定，在其中心受压后便产生了离面位移。由CCD摄像装置采集试件变形后的散斑干涉条纹，存入计算机，经过图像处理、数据处理便可测量出试件离面位移，并可实现三维重构。 作者利用散斑测量技术，对LD微沟热沉的自然对流温度场测量进行了理论和实验研究。试件温度场的温度变化将引起散斑的空间位移，同一全息干板对该散斑位移前后进行二次曝光，就可以把温度场变化引起的散斑位移记录下来，用同一激光束再现全息散斑图，便可得到与温度变化相对应的杨氏干涉条纹。对杨氏干涉条纹进行分析测量和数据处理，可以探知微沟热沉表面自然对流温度场的温度梯度分布，并可推出表面温度。