设备预防性维护理论在不断的发展，但其合理性仍有很大的研究空间。基于时间的周期性维护方式忽略了实际中各种变化因素，易造成维护的不足或过剩。以故障预测为主的状态维护中，没有一种方法能保证可预测到所有的故障模式，同时，针对预测到的故障，由于设备处在不同的状态，故障的危害性不同，若采取同样的维护内容，势必造成维护的过剩或不足。本文提出面向生命周期的设备动态预防性维护方法，在引入生命周期概念的基础上，对上述两类维护方式的有效结合及不同故障危害下的差异性维护问题进行了深入的研究，主要内容为：提出设备生命周期阶段评价方法；针对设备实际运行状态的科学化描述问题，本文引入生命周期概念来定性的区别与描述设备的年龄与健康状态，建立AHP-模糊综合评价模型对设备生命周期阶段进行评价，得到设备所在的生命周期阶段。提出设备不同生命周期阶段下故障模式危害等级的划分方法；针对故障模式在设备不同生命周期阶段危害性存在差别的问题，在获知设备所在的生命周期阶段的基础上，本文提出以设备及故障关联组件的生命周期阶段作为加权因子，采用加权平均法对同一故障模式在不同设备生命周期阶段的危害等级进行更为细致的划分，得到某一故障在设备某个生命阶段的故障危害等级。建立动态生成规则模型；在获知设备所在的生命周期阶段，故障模式危害等级的基础上，以其为约束条件，以提高设备利用率，减少设备维护费用为目标建立动态生成规则模型，有效结合周期性维护方式与基于故障预测的状态维护方式，针对故障模式危害等级的不同，采取不同的维护等级，实现差异性的精细化维护。生成预防性维护任务单；在动态生成规则模型的基础上，本文提出结合设备全生命周期故障维护相关知识，应用动态生成规则模型实现预防性维护任务单生成的方法。通过该方法，得到预防性维护任务单，确定维护条目。同时，本文以半导体设备为例，对文中所提出的方法进行了案例分析与结果验证。本文所提方法可一定程度提高设备利用率，减少维护费用，达到最低的维护成本，并有效的防止维护的过剩与不足。