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管道柔性加热器高效设计关键技术研究与应用
【摘 要】
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在半导体晶片制造过程中,管道柔性加热器向管道系统提供外围加热,以维持纯化后大宗气体的稳定性,从而保证晶片的质量。随着工业需求量的增大,在保证产品质量的同时提高加热器设计效率成为企业发展的必然趋势。目前,在使用CAD软件通用性的设计模块对管道柔性加热器进行设计工作时,由于管道系统中管件模型数量众多,重复建模、装配的设计过程以及加热器中电热丝繁琐的排布设计,耗费了大量时间与人力成本。对此,本文以缩短设
【出 处】
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南京航空航天大学
【发表日期】
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2020年01期
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