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微纳技术的出现解决了许多工业和科学领域中存在的难题,给社会带来了巨大的经济价值。随着其不断的发展,微纳技术已经广泛应用于新材料制造、精密仪器设备制造、生物医学和航空航天等领域中。微驱动精密定位技术作为微纳技术的关键部分,其发展水平严重影响了微纳技术的发展。传统的微驱动精密定位技术中能够获得较高精度的位移,但是运动范围较小。当应用传统的微驱动精密定位技术获得较大行程时,其设备尺寸往往较大。然而,随着微纳技术的不断发展,被操作对象的尺寸越来越小,自动化要求越来越高,这需要借助电子扫描显微镜(SEM)等工