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MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems微光机电系统)技术是MEMS领域的一个重要研究方向。基于MOEMS技术的微型光谱仪已经成为光谱分析仪器发展的一个重要方向。本论文面向微型光谱仪的需求,开展了MOEMS光栅光调制器关键技术研究,具有明确的应用背景和科学意义。本论文在分析总结国内外几种典型MOEMS光调器的基础上,提出了一种结构简单、驱动电压低、又具有哈达玛变换功能的MOEMS光栅光调制器,建立了相应的等效模型;研究了光栅光调制器的光、机、电特性;确定了器件结构参数,进行了器件仿真分析,完成了器件的工艺流程设计及加工流片;开发了基于FPGA的器件驱动控制系统,进行了原理器件的参数测试与功能实验验证。主要研究工作是:①在对比分析国内外MOEMS光调制器件工作特点的基础上,针对微小型光谱仪的需求,提出了一种MOEMS光栅光调制器新结构;②阐述了MOEMS光栅光调制器的工作原理,基于标量光学理论进行了MOEMS光栅光调制器的光学特性理论分析,建立了器件的等效机电模型,研究了器件的静态、动态机电特性;③确定了MOEMS光栅光调制器的结构参数,完成了基于曲折梁、分布式电极等结构设计;采用Coventor Ware专业软件对器件进行了有限元仿真;④基于中电24所的加工工艺规范,开展了多晶硅结构工艺流程以及基于Al膜保护的牺牲层释放工艺研究;确定了Al膜结构的光栅光调制器工艺流程并进行了加工流片;⑤开发了基于FPGA的光栅光调制器驱动控制系统,搭建了相应的实验系统,测试了器件的动、静态特性参数;从原理上验证了器件全开关、扫描选通以及哈达玛编码模式的光调制功能。