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本文针对长行程、高精度定位系统定位速度慢、定位精度低的现状,结合国家自然科学基金项目(项目编号：50605018)“正交衍射光栅计量方法与XY驱动定位技术的研究”,以衍射光栅测量系统及宏微定位系统为研究对象,进行了设计、分析、优化、控制和算法研究等相关工作并进行了实验论证,具体研究内容如下：首先,结合对宏微驱动工作台的结构分析,设计了一个以双衍射光栅作为位移检测标准具、采用交流伺服电机与压电陶瓷进行宏／微两级驱动的精密定位系统,并说明了宏微定位系统的工作原理。其次,完成了基于衍射光栅