本文用自制的阳极氧化装置，在0.3M的草酸溶液和0.3M的硫酸中，在不同电压下制备了多孔阳极氧化铝，研究了氧化电压与孔径的关系。在40V电压下，不同浓度草酸中制备了多孔结构，研究了草酸浓度对多孔结构的影响。对阳极氧化铝多孔结构的通孔工艺和扩孔工艺进行了研究，得出了较为理想的通孔时间，确定了孔径与扩孔时间的关系。此外研究了多孔硅的孔隙率与HF酸浓度和电流密度的关系。以硫酸和草酸为电解质溶液，制备出孔径从12-70nm的多孔阳极氧化铝，通过FE-SEM和孔径的统计分布分析，得出孔径随着氧化电压的增大而增大的结论，并且证实了孔径大小与氧化电压成线性关系。将0.3M草酸40V电压下制备的多孔结构在30℃的6%磷酸中通孔，实验证明在45min通孔可以完全去除阻挡层，适当延长通孔时间可以提高孔的孔径和有序度。将0.3M草酸40V电压下制备的多孔结构在30℃的6%磷酸中进行扩孔，扩孔后的孔径与扩孔时间成线性关系，孔的有序度随扩孔时间有一定程度的改善，扩孔时间过长会使多孔结构坍塌，形成氧化铝的纳米线。在0.6M草酸中进行不同电压的氧化，得到了多孔结构，其孔径与电压成线性关系，在此浓度下，多孔结构稳定生长的极限电压不能超过50V，否则将使溶解超过氧化，导致多孔结构生长的失败。制备不同HF浓度和电流密度的多孔硅，多孔硅孔隙率随HF浓度增大而减小，最终趋于一个定值，同样的多孔硅的孔隙率也受电流密度的影响，随着电流密度的增大而增大，电流密度增到一定程度时，孔隙率趋于一个定值。通过本文研究表明，多孔结构的特征与氧化条件存在一定的量化关系，根据量化关系调节氧化条件可以得到不同结构的多孔结构，这为实验制备模板提供了较为量化的支持。