【摘 要】
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薄膜应力存在于几乎所有的薄膜系统中。在普通光学元件镀膜中,薄膜应力会导致镜面面形发生向下凹或者向上凸的变化,应力较大时还会与基底产生失配而导致薄膜出现裂纹或者鼓泡脱落等现象。而自适应光学系统中核心器件-变形反射镜由于镜面为异型结构,镀膜后的应力不仅会导致镜面面型发生凹凸变化,还会由于背面的驱动器结构引入高阶像差,从而降低了变形镜的光束质量校正能力,影响光束传输过程中能量的分布,给系统中其他光学元件
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薄膜应力存在于几乎所有的薄膜系统中。在普通光学元件镀膜中,薄膜应力会导致镜面面形发生向下凹或者向上凸的变化,应力较大时还会与基底产生失配而导致薄膜出现裂纹或者鼓泡脱落等现象。而自适应光学系统中核心器件-变形反射镜由于镜面为异型结构,镀膜后的应力不仅会导致镜面面型发生凹凸变化,还会由于背面的驱动器结构引入高阶像差,从而降低了变形镜的光束质量校正能力,影响光束传输过程中能量的分布,给系统中其他光学元件带来损伤隐患。化学氧碘激光器系统中的变形反射镜镜面镀膜采用离子束溅射镀膜技术,因为离子束溅射制备的高反膜
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