【摘 要】
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近年来曲面光学元件被广泛的应用于各类光学系统中,气囊式抛光技术作为一种新的抛光方法不断发展,越来越多的应用于各种曲面光学元件的抛光中。气囊式抛光采用弹性气囊作为抛
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近年来曲面光学元件被广泛的应用于各类光学系统中,气囊式抛光技术作为一种新的抛光方法不断发展,越来越多的应用于各种曲面光学元件的抛光中。气囊式抛光采用弹性气囊作为抛光主体,具有高效率和高精度的抛光特点,应用前景广阔。本文从气囊式抛光原理出发,对气囊式抛光的抛光工具以及运动方式进行研究,独立设计了硅胶气囊抛光头结构,以Preston方程为基准,并使用Matlab对凸球面元件的材料去除函数模拟验证。气囊式抛光加工工艺参数的优化是抛光的关键,因此对各工艺参数的实验调整尤为重要。本文采用硅胶气囊抛光光学元件,主要对各工艺参数进行调整,获得合理参数组合,为实验研究提供基本的工艺参数。
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