锆钛酸铅压电陶瓷厚膜的超声体波时频域测试理论与方法

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压电陶瓷材料近年来在工业、民用、军事等领域有着越来越重要的地位,而锆钛酸铅压电陶瓷(PZT)由于具有优异的机电性能,并且它的居里温度和压电性能的稳定性也优于其它种类的压电陶瓷,在生产和生活中的应用越来越广泛。目前,PZT厚膜应用也越来越广泛,与PZT薄膜相比,具有更大的驱动能力和更明显的压电效应,并且PZT压电厚膜材料具备块体材料和薄膜材料的优点,所以PZT厚膜材料在制备压电、铁电、热释电器件中有广泛的应用。超声测量这种方法具有高的检测灵敏度,强的穿透能力,简单的设备和低廉的费用,重要的是它对人体没有伤害,这种技术在生产和生活中越来越重要。当材料的厚度d远小于它的纵波波长?时,我们称这种材料为薄层材料,如果采用常规的超声脉冲-回波检测方法来测量,无法将它的前后界面的每一次的回波信号区分开,所以我们采用时域和频域下的超声测量方法对压电厚膜样品进行测量。在本文中,首先使用超声频域计算方法,推导了本实验所需要的理论计算公式,根据基于衬底上薄层的计算方法,推导出不含有衬底的薄层的计算方法,根据公式,可以计算PZT压电厚膜的声速、衰减。根据计算结果进行分析。然后,使用低频超声纵波时域下正向卷积定征和逆向卷积定征这两种方法,首先分析了水浸耦合的情况下超声波垂直入射压电陶瓷厚膜时超声波穿过样品后,总体透射波的组成,并且定义参考信号计算理论透射信号,用理论计算的透射信号和实验测量的透射信号作比较,来估计压电陶瓷厚膜的特性参数值,并且分析了实验中参数估计值的影响因素。由于时域正向卷积定征方法计算速度较慢,我们又采取了另一种定征方法,逆向卷积定征方法,在此方法中,定义了透射回溯冲击响应函数,利用它和实验中采集到的透射信号反向计算理论上的入射信号,然后通过比较理论计算的入射信号和实验测量得到的入射信号,来估计样品的特性参数值。比较这两种定征方法,发现时域逆向卷积定征方法的定征效率比正向卷积定征方法高7.5倍以上,在计算效率上有很大的提高。
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