本文概述了微细及微细复合加工技术,微细超声加工、微细电解加工、微细电火花加工技术各有技术优势与局限性,超声复合微细电加工(电解、电火花)技术融合超声与电解、电火花加工技术优势,能有效克服单一加工技术弊端。本文进行超声复合微细电解、电火花加工应用基础研究,试图为导电性硬韧难加工材料研究一种有效方法。超声电解复合微细加工将超声频振动、微细电解作用有机复合,因采用钝化性电解液,电解作用在表面产生钝化膜,微细磨粒超声抛磨、“空化”及电解液的超声冲击可去除钝化膜,使工件表面始终处于钝化——活化——钝化不断交替变化状态,在保证电化学反应持续进行同时,改善加工间隙状态,提高加工精度。在超声复合微细电火花加工过程中,绝缘工作液中混有微细磨料,分散了放电点,工具电极上复合的超声频振动,可以大大减少短路现象的发生;同时超声频振动产生的空化作用、泵吸作用和涡流作用能够提高脉冲放电加工的效率。在探讨超声复合微细电加工机理基础上,构建了能够实现超声电解、超声电火花复合加工装置。应用于微细制造领域的加工工具尺寸微小,制作精度要求高,难度大。因此微小工具头的设计制作是微细超声复合电加工的关键技术。本文设计了微细轴、微细筋、微细槽工具电极,采用微细电火花线切割、电火花“反拷+平动”等多种微细组合电加工工艺制作工具头,可满足复合微细加工试验要求。根据超声复合微细电加工的特点,制定试验方案,进行单一微细超声加工、微细超声复合电加工的对比试验,进一步验证了微细超声复合加工可行性、可靠性及技术优势;研究了电参数和非电参数对复合加工效率、表面质量及工具电极损耗的影响规律;实验结果表明微细超声电解复合加工的效率优于单一超声加工,且工具电极损耗小,加工表面质量好。在微细超声电火花复合加工中,超声振动能有效改善放电过程,效率、精度及稳定性均较超声加工高;试验确定了复合电加工各参数对加工工艺效果的影响曲线。此外,针对加工试验中出现的工艺现葐?主要问题进行了分析总结。最后对后续研究工作提出了设想和展望。