噪声污染已经成为世界的三大公害之一。在日常生活中,噪声污染会影响人们的工作、学习和休息,危害人的身心健康。在军事领域,噪声会降低作战武器的性能,还会暴露重要装备的位置,从而造成重大损失。因此,吸声降噪是一个十分重要的课题。与此同时,随着大量微型系统的不断应用,它们需要能与之集成在一起的能量收集部件,实现从环境中收集能量以供自身使用,而噪声振动能在环境中的存在是广泛而丰富的,正好能够成为微型系统的能量来源。因而,本论文在对吸声降噪技术和微能源技术的研究现状进行综述的基础上,使用MEMS技术制备了具有良好吸声性能的硅基微穿孔板共振降噪结构,并对散乱多孔性ZnO微纳米材料对吸声结构降噪效果的影响进行了初步探索。在硅基微穿孔板降噪结构的基础上,设计增加了两种将噪声的声能转化为电能的能量收集组件,一种是基于ZnO材料的方形薄膜阵列结构,另一种是基于纳米线阵列的纳米能量收集结构。将上述两种结构与微穿孔板组合在一起,形成了两种微纳米复合降噪与能量收集器件。实验结果显示两种器件都具有较好的降噪效果,并都成功地实现了噪声能向电能的转化,满足了器件的设计要求。此外,本文还利用ZnO方形压电薄膜阵列结构实现了风能的收集和超声能量的传递,并利用超声馈能系统成功地点亮了发光二极管。综上所述,本文对微纳尺度下的降噪技术和微纳系统的噪声振动能收集技术等相关领域进行了有益的探索,在硅基微纳米降噪和微纳米噪声能收集等方面取得了一些创新性的研究成果。