【摘 要】
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本论文重点阐述了波谱响应平坦化阵列波导光栅(AWG)的基本原理,描述了选用高氟化聚芳醚(FPE)聚合物材料制备箱型波谱响应AWG器件的详细过程。制备出中心信道插入损耗为?13.4d
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本论文重点阐述了波谱响应平坦化阵列波导光栅(AWG)的基本原理,描述了选用高氟化聚芳醚(FPE)聚合物材料制备箱型波谱响应AWG器件的详细过程。制备出中心信道插入损耗为?13.4dB的17×17信道高氟聚合物AWG器件。对器件的参数优化、结构设计、工艺制备、端面抛光、封装技术、测试分析等进行了详细的论述,并提出了下一步研究工作的展望。本论文的主要创新点如下:1、提出了新的箱型波谱响应AWG器件的设计方法,即阵列波导长度差方法。就是把奇数阵列波导长度差ΔL减去一个增量δ(ΔL)使其间减小为ΔL ?δ(ΔL),偶数阵列波导长度差ΔL加上同一个增量δ(ΔL)使其增大为ΔL +δ(ΔL)。这样就把原来所设计的AWG分成分别由偶数阵列波导、奇数阵列波导组成两个亚AWG。这两个亚AWG的传输光谱叠加后可使输出光谱在原来所设计的波长附近平坦,形成箱型波谱响应。2、分析了阵列波导的弯曲对AWG传输性能的影响。3、分析了工艺误差对AWG传输性能的影响,并提出了工艺误差的补偿方法。4、选用FPE聚合物材料在实验上制备了17×17信道波谱平坦化的AWG器件样品,测得中心信道插入损耗约为?13.4dB,串扰约?20dB,3-dB带宽约为0.476nm。
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