【摘 要】
：
本论文利用射频磁控溅射方法,以MgZnO为靶材,高纯Ar/N2为溅射气体,在石英衬底上生长MgxZn1-xO薄膜。通过改变氮分压和衬底温度,控制MgxZn1-xO合金薄膜的结构、带隙和Mg含量。
论文部分内容阅读
本论文利用射频磁控溅射方法,以MgZnO为靶材,高纯Ar/N2为溅射气体,在石英衬底上生长MgxZn1-xO薄膜。通过改变氮分压和衬底温度,控制MgxZn1-xO合金薄膜的结构、带隙和Mg含量。当氮分压在0-50%时,MgxZn1-xO薄膜呈单一六角纤锌矿结构;当氮分压在50-83%时,为六角纤锌矿结构和立方盐岩矿结构两相共存;当氮分压为100%时,呈单一立方盐岩矿结构。薄膜镁含量随氮分压和衬底温度的增加呈线性增加。当Mg含量x高达0.44时仍保持单一六角结构。在50-100%氮分压下制备的样品经600℃真空退火后呈p型导电。阐明了氮分压对MgxZn1-xO薄膜的结构、Mg含量、带隙和电学性能的影响规律和机制。利用射频磁控溅射方法,分别以Ar/O2和O2/N2为溅射气体,系统研究了溅射气氛对MgxZn1-xO薄膜的结构和性能的影响。
其他文献
目前,随着多媒体和网络技术的迅速发展,海量的视频信息不断涌现,使得对视频传输的要求日益增高。数字视频是多媒体信息技术的重要内容,随着数据压缩技术、宽带网络技术、超大
随着我国畜牧业的快速发展,稻草的利用也大幅度增加。稻草通常被列为低质粗饲料,品种不同,其营养价值变化较大。本研究对泰优99、渝香203、丰优22、Ⅱ优368和培杂泰丰5个水稻
《女青鬼律》的成书年代、流行地域,学界有多种不同的看法,异说甚多。本文根据考古出土铭刻材料,提出《女青鬼律》的成书年代应为东晋中期,唐以前基本上只在江南地区流行,对
本文主要对车辆自动泊车的模糊控制方法进行仿真研究。研究对象为以捷达车为参数的车辆运动学模型，根据实际应用情况，分别对自动平行泊车、自动垂直泊车、自动斜形泊车进行模糊
我国各级政府现阶段正积极推进预算绩效评价与管理工作,强化支出责任和效率意识。本文结合国内外相关领域取得的经验成果,探索如何推进我国财政资金预算绩效管理,提高公共资
在两岸政治互信和良性互动逐渐增强、两岸全面交流局面形成、两岸顺利签署ECFA的大背景下,两岸关系和平发展如何向深度和广度推进,特别是如何发展两岸政治关系?成为两岸有识
国家食品药品监督管理局令第2号《药物非临床研究质量管理规范》于2003年6月4日经国家食品药品监督管理局局务会审议通过,现予发布。本规范自2003年9月1日起施行。局长:郑筱
甘薯是全球重要的块根类作物,不仅为人类提供了粮食,同时也是动物饲料、淀粉及燃料乙醇等工业加工的原材料。建立甘薯遗传转化体系不仅是开展甘薯重要基因功能验证的平台,同
2009年底,武汉东湖新技术产业开发区被国务院批准创建国家级自主创新示范区。在示范区建设的过程中,金融扮演着十分重要的角色。科技创新的活跃、科技成果的产生与转化、高新
上海都市旅游业经过多年的发展已成为服务业中的佼佼者,成为上海的支柱产业之一。在为上海经济发展做出重大贡献的同时,上海都市旅游业在长期发展中也积累了诸多的问题和矛盾