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原子力显微镜（AFM）是新一代的扫描探针显微镜（SPM），不仅可适用于导体、半导体、绝缘体样品，并且不受样品是否具周期性的限制；还可适用于各种环境，特别是各种液体环境。本文详细阐述了原子力显微镜的基本概念和基本原理，对原子力显微镜的系统结构进行了详尽的介绍，并用AFM系统研究了在 SiO_2衬底上生长 GaN缓冲层的工艺。 光子扫描隧道显微镜（PSTM）是另一种扫