【摘 要】
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该文开展了如下研究工作:1、全面了解高温压力传感器的最新发展动态,从技术角度详尽分析了不同产品的优缺点;并对SOI压力传感器的物理基础——SOI技术进行了深入地探讨.2、完
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该文开展了如下研究工作:1、全面了解高温压力传感器的最新发展动态,从技术角度详尽分析了不同产品的优缺点;并对SOI压力传感器的物理基础——SOI技术进行了深入地探讨.2、完成了一种矩形膜结构SOI压力传感器的设计,包括版图设计与工艺设计,并制作出样品.通过对重点工艺TMAH腐蚀特性的研究,为研制SOI MEMS奠定了坚实的技术基础.3、对SOI压力传感器的性能进行了全面地测试与分析.结果为改进现有设计和工艺,提高SOI压力传感器的性能,提供了可靠的依据.4、温度场中复杂结构应力分析.准确了解弹性膜应力分布情况是设计高性能压力传感器的前提条件.由于传感器结构复杂,我们利用有限元工具ANSYS6.0,从单层膜近似模型入手分析了复合膜结构和静电封接工艺对应力分布的影响,以及温度场对应力分布的影响.并根据所得结论,优化设计出一种新的版图结构.理论分析和模拟结果均表明,这种结构SOI压力传感器具有良好的静态特性与温度特性.在所开展的研究工作中,SOI压力传感器的设计、制作与性能分析;TMAH腐蚀特性研究;传感器实体结构温度场中应力分析和SOI压力传感器版图的优化设计均具有独创性.
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