【摘 要】
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光衰减器,是一种旨在降低波导中传输的光功率的器件,可以按照用户的要求将光信号能量进行预期地衰减,它是随着光通信事业发展出现的一种非常重要的纤维光学无源器件。随着近
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光衰减器,是一种旨在降低波导中传输的光功率的器件,可以按照用户的要求将光信号能量进行预期地衰减,它是随着光通信事业发展出现的一种非常重要的纤维光学无源器件。随着近年来宽带光通信网络,特别是全光网络的迅速发展,光衰减器在波分复用(WDM)光纤网络中发挥着重要的作用,市场需求增长十分迅猛。本项目的研究内容是利用聚合物分散液晶材料,将MEMS技术中体硅微细加工工艺与液晶技术结合起来研制一种新型的聚合物分散液晶可变光衰减器。 本文的主要内容是:首先介绍了光衰减器的种类和工作原理;然后详细介绍了制备液晶可变光衰减器透明导电电极材料ITO薄膜的实验及相关测试;最后设计了制作光衰减器原型器件的工艺流程,在(110)和(100)硅基底上制作出了自对准光纤定位槽,对制作好光纤定位槽和端面溅射有ITO薄膜的单模光纤组装起来的结构进行了光功率损耗的测试。
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