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非晶硅太阳能电池目前主要存在的问题,一是转换效率低,二是稳定性不好。ZnO:Al/Al复合背反射电极的应用可以增加光在电池i层的光程,从而增加了i层对光的吸收,提高了电池的效率。此外,增加了ZnO:Al/Al复合背反射电极后在同样的效率下可以减薄i层,增加电池的稳定性。对ZnO:Al/Al复合背反射电极的研究主要集中在电池n层和ZnO:Al薄膜的匹配。本论文对电池的n层沉积条件和ZnO:Al薄膜的磁控溅射条件进行了研究,目的就是找出电池N层和ZnO:Al薄膜的最佳匹配条件。对