紫外激光盲孔加工技术研究

来源 :华中科技大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liust4258
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
近年来,随着半导体电子产品朝着便携式和小型化的方向发展,传统的钻孔加工方式已不能满足微孔,尤其是微盲孔的加工要求。而激光钻孔具有效率高和可加工盲孔等优点,得到了电子工业等领域的广泛重视和研究。本文在实验室自主设计开发的紫外微加工工艺实验平台上,对柔性线路板的紫外激光盲孔加工技术进行了系统研究,主要研究内容和成果如下:本文阐述了紫外钻孔用光学系统的作用、设计思路以及紫外光学器件的选取原则。紫外钻孔用光学系统由紫外扩束镜、光阑、紫外反射镜、扫描振镜及紫外远心聚焦透镜五个部分组成。分析了紫外激光与柔性线路板相互作用的机理。采用波长为355nm的脉冲紫外激光器和紫外钻孔用光学系统等部件组成的实验平台对聚酰亚胺和铜箔进行了定点脉冲钻孔的实验。系统的研究了激光功率、激光频率和加工次数等工艺参数对盲孔入口质量、入口孔径以及孔深尺寸的影响规律,并提出了一种定点-同心圆复合钻孔的新工艺方法,用以改善盲孔的加工质量。模拟和分析了单脉冲紫外激光分别作用于铜箔和聚酰亚胺时的刻蚀深度。在此基础上,采用定点-同心圆复合钻孔的创新工艺方式,结合定点脉冲钻孔实验时总结的部分工艺参数,在四层柔性线路板上进行了一阶盲孔的加工实验,并系统研究了激光功率、激光频率、扫描间距、光斑直径、光斑离焦量、钻孔延时、开关光延时和扫描速度等参数对盲孔加工质量的影响规律。通过对工艺参数的优化,获得了入口与孔底形貌良好、锥度小和粗糙度低的一阶和多阶盲孔。最后,采用优化后的工艺参数对整块柔性线路板进行了一阶盲孔的加工,检测结果表明盲孔的合格率达到90%以上,从而证明本实验所采用创新工艺方法的可行性与优越性。
其他文献
志愿服务经过了近百年历史的发展,在当今世界早已作为社会发展一种必要的功能性补充在各个领域发挥着自身独特的优势。目前,我国大学生志愿服务不仅成为全国各高校的重要育人
3-6岁幼儿的早期教养问题,对于幼儿个人来讲,是其一生发展的关键。幼儿的早期教养问题关系到社会政治经济文化水平的提高及其可持续发展。我国是一个农业大国,农村教育成为促
采用文献资料法、逻辑分析法对我国西部地区居民体育健身情况进行了分析研究.我国西部地区居民的体育态度积极,体育认知水平在提高,体育动机多样化,活动项目和形式带有明显的
广西物流行业的发展目前处于初级阶段,物流信息化相比其他地区处于相对落后的水平,物流基础设施、网络建设、公共信息化平台不够完善.文章分析了广西物流信息化发展的现状,以
传统方式的以水为工质的朗肯循环回收利用系统,由于循环效率低,系统复杂,其经济效益非常有限。若使用有机工质朗肯循环(Organic Ranking Cycle,简称ORC),利用低沸点有机工质
期刊
随着科学技术的进步,21世纪,我们正从计算机信息时代跨入生物科技时代。生物科学技术应用最广泛的领域即是医药领域。用生物科学技术发现,制造出的药物比化学药物有着疗效更
农村承包土地经营权和农民住房财产权(统称"两权")抵押贷款试点是农村金融改革的重要创新,是落实乡村振兴战略、满足乡村振兴多样化金融需求的重要举措,它对盘活农村资产、促