在光纤通讯中,光开关与光开关阵列发挥着重要的作用。随着光网络的发展,研制出低功耗、高性能、结构紧凑、易于集成和低成本的光开关至关重要。本文对聚合物MZI平面波导光开关进行了研究,利用聚合物材料在热光和电光器件方面的优良特性,以及制备工艺简单和成本低廉等优点,对聚合物MZI型热光和电光开关进行了制备和测试。首先,使用聚甲基丙烯酸甲酯和甲基丙烯酸环氧丙酯的共聚物P(MMAGMA)及商用聚合物材料Norland73(NOA73)制备了聚合物MZI热光开关器件。NOA73材料具有较大的热光系数,可以有效降低器件的功耗,同时选用热导率相对较大的Si O2作为波导的下包层,有利于提高器件的响应速度。器件的测试结果表明,在1550 nm工作波长下,热光开关器件的消光比为20.2 d B,驱动功率仅为9.1 m W,开关的上升时间为174μs,下降时间为292μs。其次,合成了主客掺杂型电光聚合物分散红1/双酚A型聚碳酸酯(DR1/PC)材料,并以此作为波导芯层,制备了倒脊型波导结构的MZI电光开关器件。通过实验优化了芯层材料的生色团掺杂浓度,在保证生色团不发生析出的情况下,获得材料最大的电光系数12.8pm/V。最后测得器件的开关上升时间为33 ns,下降时间为24 ns。最后,设计并制备了基于掩埋型共面调制电极结构的聚合物MZI型电光开关器件。器件以主客掺杂型电光聚合物DR1/PMMA作为波导芯层材料,调制电极位于调制臂波导的两侧,与传统的异面电极结构电光开关相比,有效地提高了极化效率和调制效率。在进行接触极化后,测得器件的插入损耗为12.7 d B,开关上升时间为50 ns,下降时间为54 ns。