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精密定位技术是提升国家核心竞争力和综合国力的战略选择,而微定位平台的控制系统设计是精密定位技术的关键部分。分布柔度式平面柔顺机构作为一种新型的微定位机构,其不仅具有柔性机构无摩擦磨损、无运动间隙和免装配润滑的优点,还具有并联机构多运动维度、稳定高和承载能力强的特性。基于分布柔度式平面柔顺机构的微定位平台运动精度高、行程大、动态响应快、体积小,并且可以达到亚微米级的定位精度和纳米级的分辨率。因而,分布柔度式平面柔顺机构可广泛应用于精密工程、微纳制造、微电子技术等尖端领域,其运动特性分析和控制系统设计已