双线振动硅微机械陀螺仪检测技术研究与试验

来源 :东南大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qgdjyahaha
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
硅微型机械振动陀螺仪是一种新型陀螺仪,是MEMS的重要组成部分之一,具有体积小、重量轻、功耗低、可靠性高以及易于数字化和智能化等优点,在惯性测量领域有着广泛的应用前景。 本文以课题组自行设计的双线振动硅微机械陀螺仪为对象,深入研究了其检测技术,包括检测电路方案的理论分析、设计、仿真和检测电路关键电路模块的设计,最终实现了基于相干检测原理的双边差分开环检测方案,并进行了测试试验。本文的主要工作可以归纳为以下几个方面: (1)分析了双线振动硅微机械陀螺仪的工作机理和动力学特性,导出了陀螺驱动模态和检测模态的运动规律及检测电容的变化规律。 (2)结合双线振动硅微机械陀螺仪微弱信号检测的特点,分析了限制电路检测能力的正交误差信号及噪声信号,选用相干检测法作为其信号检测方法,比较了基于相干检测原理的公共端差分开环检测方案和双边差分开环检测方案;对双边差分开环检测方案进行了仿真。 (3)重点研究了双线振动硅微机械陀螺仪检测电路中的前置放大电路。分析了前放电路中各元件参数与其噪声性能和动态误差的关系,提出了前放电路设计的定性原则;结合理论分析与仿真计算结果,提出了一种前放电路各元件参数的定量设计方法,并据此设计了前置放大电路。 (4)实现了基于相干检测原理的双边差分开环检测方案,对其主要性能进行了测试,包括常温下零偏、零位漂移、标度因数和零输入角速度输出电压温度特性,分析了测试结果,提出了改进方案设想。
其他文献
青岛某商业广场屋顶直径104.2米的钢结构穹顶,施工条件相对复杂,无大型吊装机械可以采用,经论证,采用采取了以拔杆为基本吊装工具的创新安装方案,通过对该方案关键技术的研究
LED(1ight emitting diode)作为半导体发光器件,具有体积小、寿命长、低能耗、色彩丰富等特点。近年来,这种环保节能的光源已经广泛应用于照明、显示领域。但是,过高的生产成本
电视专题片是一种能够有效反映社会文化历史变迁的电视艺术表现形式.为了保证电视专题片能够在画面视觉效果和主题内容方面吸引观众的注意,笔者针对电视专题片的创作和电视专
随着用电量的增加,社会的需求越来越高,为了满足社会需求,每个电厂应加大对自身的改革,以此来提高锅炉的运行热效率.火电厂锅炉运行控制和预防工作务必加强,在提高资源利用率