论文部分内容阅读
本文采用溶胶凝胶法,在利用磁控溅射技术(Magnetron Sputtering)生长的底电极上制备聚偏氟-三氟乙烯Poly (vinylidene fluoride-trifluoroethylene)[P(VDF-TrFE)]有机物薄膜,在此基础上生长了Pt或Al上电极,构造不同结构的异质结电容器,应用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、Keithley2601数字源表和铁电测试仪(PrecisionLC Unit)等设备,对薄膜样品的微观结构、表面形貌、输运性质、铁电性以及疲劳特性