【摘 要】
：
该论文首先介绍了硅片直接键合的原理,研究了硅片直接键合工艺和硅片键合办是非曲直反应的动力学机制.比较了硅本征氧化层与硅热氧化层两种键合办是非曲直反应行为.给出了硅
论文部分内容阅读
该论文首先介绍了硅片直接键合的原理,研究了硅片直接键合工艺和硅片键合办是非曲直反应的动力学机制.比较了硅本征氧化层与硅热氧化层两种键合办是非曲直反应行为.给出了硅片发生键合所要求的表面平整度和吸附张力条件,讨论了硅片的最大应力及其应力分布方式,以及接触表面的形变范围,分析了硅片的接触面积,荷载压力和形变位移之间的关系.给出了估计接触波速的弹性力学方法.分析了键合的注氢硅片表面薄膜剥离的热动力学过程,并获得了智能剥离工艺的参数.该论文讨论了退火时界面原子扩散引起的表面形变和硅-氧化硅界面热应力弛豫.通过p-Si/n-Si键合界面的伏安特性、扩展电阻以及TME图像分析了热应力对键合界面的影响.
其他文献
该文讲述了拼接式等离子体显示器（TSPDP）开关电源的研制,它主要由功率因数校正电路、DC/DC变换电路、保护和控制电路三部分组成.文中详细介绍了功率因数校正的原理、实施和参数
该文的重点在于使用与传输长帧时不同的最优周期交织器,提高Turbo码传输短帧的性能,以便于使用Turbo码来传送话音和信令(用短帧传输).Turbo码在高信噪比下的误码率性能主要由
机会网络是一种具有容迟网络特征的新型移动自组织网络，网络节点之间没有固定的拓扑结构，节点可在网络范围内自由移动，网络利用节点的移动特性以及节点相遇的机会，使用“存储—携
该文首先介绍了宏模型的建立方法:简化电路法和端口特性构造法,并对各种方法进行了比较研究;运算放大器直流宏模型和交流小信号宏模型以及由两种模型混合构成的混合宏模型,都
该论文对磁浸没透镜的电子光学聚焦成像性质和像差理论进行了研究,并对实际的磁浸没透镜结构进行了优化设计;研究了微分代数（DA）方法在带电粒子光学系统中的进一步应用,建立了
该论文中的工作得到了国家自然基金项目的资助,在导师的悉心指导下,作者在可调谐滤彼器在DWDM中的应用作了较细致的探讨,并分析了一种典型OXC节点的可靠性并提出了增加可靠性
长江海事局、湖北省地方海事局全体同志们:rn自新冠肺炎疫情防控工作启动以来,在交通运输部党组、湖北省地方党委政府的正确领导下,长江海事局和湖北省地方海事局全体干部职
水稻是重要的主粮，其育种依赖于减数分裂过程。减数分裂是指细胞经过一次DNA复制继而发生连续两次分裂的过程，其中非常重要的环节是发生在第一次减数分裂前期的DNA双链断裂(Dou