【摘 要】
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文中主要开展了如下工作:首先,论文对波长移相技术的发展状况进行了概述,并总结了传统硬件移相技术的特点,分析了波长移相技术的优缺点,指出了算法中需要解决的重点问题.其次
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文中主要开展了如下工作:首先,论文对波长移相技术的发展状况进行了概述,并总结了传统硬件移相技术的特点,分析了波长移相技术的优缺点,指出了算法中需要解决的重点问题.其次,该文对两类算法进行了重点研究和分析:用于精细轮廓测量并可以实现多表面干涉测量的加权多步波长移相算法和用于台阶测量的时域傅立叶变换波长移相算法.该文阐述了两类算法的思想、设计理论和具体设计过程,并进行了详细的模拟分析.第三,构建了一台波长移相干涉仪,利用两类算法对平晶表面、光盘表面和台阶件进行了测量,并进行了结果比对,验证了文中理论和设计算法的正确性.最后,该文根据课题研究工作和实际测试经验,指出了下一步需要开展的工作和设想.
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