【摘 要】
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该文介绍使用X光会聚透镜的X射线荧光分析(XRF)系统,其具有高X光功率密度,高空间分辩率的特点.文中使用不锈钢合金、化合物、单元素三种薄膜标样标定了系统的灵敏度曲线.同时
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该文介绍使用X光会聚透镜的X射线荧光分析(XRF)系统,其具有高X光功率密度,高空间分辩率的特点.文中使用不锈钢合金、化合物、单元素三种薄膜标样标定了系统的灵敏度曲线.同时,对比了在使用光阑和X光聚焦透镜两种情况下测定的系统灵敏度曲线,可以看出,X光透镜显著提高了系统的灵敏度,极大地缩短了实验测试时间.液滴法是制作薄膜样品的最简单方法,该文介绍了使用该方法制作薄膜样品的具体步骤.由于样品在自然蒸发过程中具有结晶效应,使得最终形成的样品极不均匀.如果使用这些样品刻度系统的灵敏度曲线,样品的不均匀性会引起严重的实验误差.利用使用X光会聚透镜的XRF系统形成的小束斑,可对样品的均匀度进行分析.同时,文中给出了在使用此种样品刻度系统灵敏度曲线时,消除样品不均匀性引起误差的方法.
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