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硅基铌酸锂铁电单晶异质集成及其薄膜化技术研究
【摘 要】
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空间环境参量原位精准测量需将微机电系统(MEMS)传感器置于待测区域,并与测试对象直接接触输出电学响应信号。传统硅基MEMS传感器需进行抗辐照加固处理,体积质量成本更高,传感测试灵敏度提升受限。相比于传统硅基功能材料,铌酸锂(Li Nb O_3,LN)铁电单晶凭借其优异的耐腐蚀性、耐低温性和本征抗辐射特性在航空航天领域展现出广阔的应用前景。围绕航天级传感器微型化、集成化、低功耗和高可靠应用需求,完
【出 处】
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中北大学
【发表日期】
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2021年01期
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