【摘 要】
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本文在概述了ZAO(掺铝氧化锌)薄膜的性能、制备技术、应用前景和国内外研究发展概况的基础上，以二水合乙酸锌(Zn(CHCOO)
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本文在概述了ZAO(掺铝氧化锌)薄膜的性能、制备技术、应用前景和国内外研究发展概况的基础上，以二水合乙酸锌(Zn(CH<,3>COO)<,2<2H<,2>O)为前驱体，异丙醇(isopropanol)或乙二醇甲醚(2-methoxyethanol)为有机溶剂，单乙醇胺(monoethanolamine)为稳定剂，六水合三氯化铝(AlCl<,3>．6H<,2>O)为掺杂剂，采用溶胶一凝胶浸涂法在石英玻璃衬底上制备了ZAO薄膜。文章分别采用X射线衍射(XRD)，扫描电子显微镜(SEM)和光谱辐射计对不同工艺条件(包括热处理温度、铝掺杂浓度、溶胶浓度、薄膜厚度等)下制备的ZAO薄膜相结构，表面形貌和红外发射特性进行了分析与测试，系统研究了各工艺参数对其结构和性能的影响。
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