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由于多晶硅生产的工艺过程特性,其产生的工业废水水量大,悬浮物含量高,氯离子含量大,随着我国污水排放标准的日益严格,加之传统膜滤机处理工艺处理成本偏高,因此面临着一定的技术挑战,降低处理费用势在必行。本文通过实验室实验和工程现场试验相结合,研究和介绍了多晶硅废水处理的新方法。通过混合加药反应系统、多级沉淀系统、污泥压滤脱水系统和循环利用系统等处理单元,来处理多晶硅废水。研究了系统的加药方式和循环利用条件来指导实际工程,得到了如下结论：本实验通过研究FeSO4、PAC、FeCl3、Al2(SO4)3四种化学混凝剂对多晶硅废水处理效果,确定了混凝剂及助凝剂的种类、投加量和投加条件。实验表明,PAC混凝效果最好,沉淀率最高。确定混凝最佳条件为：投加比为0.12g/L废水,浓度为1200mg/L,pH=8,搅拌速度为240r/min,搅拌时间为2min。确定助凝剂PAM投加比为0.01g/L废水,投加最佳浓度为1g/L,最佳搅拌速度为120r/min,搅拌时间10s。经过PAM优选试验的研究确定阴离子3#PAM为最佳类型,不但絮体体积大,而且沉降速度最快,沉淀量最大,上清液最为澄清,用量也最少。通过现场实验,确定出污泥浓缩罐中污泥浓缩程度和加药量的对应关系,绘制加药泵量程与浓缩沉降比关系图,指导实际工程应用。CaCl2对混凝效果影响实验表明,CaCl2的含量的多少对混凝效果基本无影响,对后续氧化钙的循环处理过程基本无影响。采用氧化钙循环除氯法,对多晶硅废水进行循环处理,在循环处理中,当循环次数达到5次时,循环水中的氯化钙含量达到63g/100mL废水,基本达到最大循环利用次数。冷却水中的氯离子经过阴离子交换树脂床处理后,氯离子含量可以降低到300mg/I。以下,每10g树脂可处理冷却水140mL左右。阴离子交换树脂饱和后需要再生,每10g树脂需要20mL10g/L的氢氧化钠溶液进行再生。再生产生的废水主要含一定量的碱,完全可以作为配置石灰乳的用水。