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发展太阳能光伏产业是解决化石燃料短缺和环境污染的有效途径。作为主要的太阳能转换材料,高纯多晶硅制备工艺的完善和发展是目前亟待解决的关键问题。以硅烷为原料的流化床法,具有能耗低、成本低、污染小的优点,是太阳能光伏产业发展的关键技术之一。由于硅烷的气相沉积反应机理复杂,与流化床内的气-固流动相互耦合,使流化床CVD反应器的研究开发和放大设计面临较大困难。本文采用计算流体力学的方法(CFD),用群体平衡模型(PBM)耦合硅烷热解反应动力学,预测反应器内流动情况和颗粒生长过程,为流化床CVD反应器的开发提供